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【每日科普】热丝化学气相堆积法缺陷

时间: 2025-03-29 12:03:55 |   作者: 华体会官网赞助里尔

  这种办法的缺陷是钨丝在作业进程碳化变脆致使开裂,且组成速度较慢,约为1-2μm/h,气体离化率较低,金刚石膜的成长质量不是很高,且简单带来金属污染。

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